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快速退火爐銷售

簡要描述:快速退火爐銷售是利用鹵素紅外燈做為熱源,通過極快的升溫速率,從而消除晶圓或者材料內部的一些缺陷,改善產品性能。

  • 產品型號:
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2022-12-09
  • 訪  問  量: 127

詳細介紹

快速退火爐銷售

是利用鹵素紅外燈做為熱源,通過極快的升溫速率,將晶圓或者材料快速的加熱到300℃-1200℃,從而消除晶圓或者材料內部的一些缺陷,改善產品性能。

采用先進的微電腦控制系統,采用PID閉環控制溫度,可以達到*的控溫精度和溫度均勻性,并且可配置真空腔體,也可根據用戶工藝需求配置多路氣體。

應用領域:

1.快速熱處理(RTP),快速退火(RTA),快速熱氧化(RTO),快速熱氮化(RTN);

2.離子注入/接觸退火;

3.金屬合金;

4.熱氧化處理;

5.化合物合金(砷化鎵、氮化物等);

6.多晶硅退火;

7.太陽能電池片退火;

8.高溫退火;

9.高溫擴散。

快速退火爐銷售注意事項:

1.    爐子使用或長時間不用后,要在120 ℃左右烘烤1 h,在300 ℃左右烘烤2 h后使用,以免造成爐膛開裂。爐溫盡量不要超過額定溫度,以免損壞加熱元件及爐襯。禁止向爐膛內直接灌注各種液體及溶解金屬,保持爐內的清潔。

2.    冷爐使用時,由于爐膛是冷的,須大量吸熱,所以低溫段升溫速率不易過快,各溫度段的升溫速率差別不易太大,設置升溫速率時應充分考慮所燒結材料的物理化學性質,以免出現噴料現象,污染爐管。

3.    爐子使用過一段時間后,若真空度降低,可分別更換不銹鋼法蘭盤之間的耐溫硅膠圈或重新安裝不銹鋼法蘭盤或更換修理真空系統,以提高系統的整體真空度。

4.    爐子在工作過程中,一般在300 ℃左右若控制偏差還不能消除,出現溫度顯示值與程序給定值不符或擺動過大,檢查參數“M5、P、t"設置是否準確。


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